MEMS身为一项革命性的新技术，目前已经被广泛应用于高新科技领域，最为常见的是MEMS传感器，诸如MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS陀螺仪等。早些年间，MEMS器件主要应用于汽车市场，但是随着智能手机、智能家居、物联网及工业4.0等相继亮相，这为MEMS提供了更为广阔的应用市场，当然，新的市场也为MEMS产业带来了新的挑战。整体而言，由于MEMS是一项新技术，且国内起步较晚，因此出目前国内MEMS产业链出现了后端封装较为完善，但前端制造却亟待加强的局面，同时，一些新兴市场的为MEMS产业带来机遇也对其提出了新的要求。

　　微机系统MEMS作为一种建立在微电子技术上的技术，其融合了光刻、腐蚀、薄膜、精密加工等高科技技术。此外，身为一项具有革命性意义的新技术，其发展至今，已经广泛应用于各种高科技领域，常见的MEMS器件包括MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS麦克风及MEMS光学传感器等。但是，在2008年以前，MEMS器件并无不像如今这般普及，其主要局限于汽车领域的应用，自2008年以后，诸如智能手机、平板电脑及如今的物联网等新兴领域的发展，促使MEMS飞速发展。

　　尽管MEMS器件如今在科技领域举足轻重，遗憾的是国内发展却比较晚，与国外相比，国内MEMS产业链前端的制造着实亟待提高及借鉴。尤其是随着越来越多的行业需要使用MEMS器件，建立完善的MEMS产业链对于中国而言十分有必要。首先来看看，国内MEMS产业链与国外相比，有哪些优势及不足。

　　据麦姆斯咨询CEO王懿介绍，当前国内MEMS产业链的优势在于市场方面，而不足之处在于MEMS制造环节，他以国内智能手机为例表示，2014年中国智能手机出货量约占据全球智能手机出货量的40%;2014年全球智能手机出货量十强，中国企业占6席;华为、联想、小米等中国厂商则成为全球市场上的增长主力军。因此，中国拥有庞大的MEMS消费市场，吸引众多国际MEMS大厂前来“淘金”。由此可见，手机的确是MEMS产业链的一大推动力。

　　对于国内发展的难点——前端制造，他强调，由于国内缺乏MEMS前端制造方面的经验，且没有很好的MEMS代工厂来支持Fabless企业发展，因此国内资本开始寻找海外优质的MEMS资源，实施并购行为。“最近盛世投资收购全球最大的纯MEMS代工厂Silex Microsystems，并计划在北京亦庄建设8英寸MEMS代工线，以弥补中国MEMS产业链的短板，同时也帮助Silex Microsystems实现快速发展，保持其在全球纯MEMS代工厂行业的领先位置。”他说。

　　思比科CEO陈杰在接受记者采访的过程中指出，国内的优势主要是离应用市场比较近，需求量大，因而对MEMS企业具有较大的吸引力，容易形成MEMS产业链。不足之处是在MEMS基础研究、独创性器件和工艺研发方面不够扎实，核心技术目前还主要依赖于国外。

　　此外，王懿还强调：“MEMS是半导体产业的一个重要领域，为智能制造、智慧城市、物联网、医疗器械、移动终端、可穿戴设备提供传感器等核心器件，是实现中国制造2025不可或缺的关键技术。”

　　虽然国内MEMS产业链前端制造等需要依赖国外，但后端的封装等领域则相对而言较为完善，这就形成了前端制造与后端封装不平衡的现象。对此，陈杰解释道：“主要原因是因为MEMS前端研发等涉及MEMS核心技术和工艺，而国内的现状是目前还主要依赖于国外，比如说，如果在技术转移、知识产权保护等一系列问题得不到很好的解决，那么前端技术转移可能需要时间。后端部分相对而言不涉及核心技术，因此其同时离市场也近，所以更加容易在国内建立。”

　　王懿同样表示，MEMS前端制造有别于平面化的IC制造，MEMS前端制造方式十分丰富，几乎涉及了各种现代加工技术。其起源于半导体和微电子工艺，以光刻、外延、薄膜淀积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、刻蚀等为基本工艺步骤，来制造复杂三维形体的微加工技术。他还强调：“MEMS前端制造还需要与MEMS设计相结合，才能实现“完美”的产品。因此，优秀的MEMS代工厂和优秀的fabless公司如影随形。”

　　对于如何提高国内MEMS产业链前端的制造实力。陈杰认为，由于MEMS工艺并不要求特别先进的半导体工艺技术，关键是需要加强基础技术、加大原创性器件结构和与器件匹配的特种工艺的研发力度。目前应当选择使用量大的器件作为突破口，加大MEMS器件与信号处理IC的集成创新。

　　王毅也提出了他的解决方法，那就是通过收购一些国外MEMS厂商进一步买进技术。正如前文所述：盛世投资收购全球最大的纯MEMS代工厂Silex Microsystems，将海外技术本土化。

　　据了解，Silex Microsystems作为一家专注于无晶圆厂或轻晶圆厂的MEMS公司，虽然其已经成为了全球最大的纯MEMS代工厂，但是其从不涉及任何MEMS器件的设计和开发，其最大的优势是拥有一批资深的MEMS工程技术人员，此外，与其合作的MEMS产品客户同样不可忽视。目前，它已经拥有了一套系统的、结构化的方法以助MEMS客户有效地实现工艺集成及产品的认证。由此可见，盛世投资收购Silex Microsystems对国内产业链而言可谓十分重要。

　　总的来说，对于国内MEMS厂商而言，MEMS产业链前端的制造是“心头之痛”，如何提高制造实力是各厂商亟待解决的问题。作为半导体行业中的一重要分支，通过收购国外厂商从而提高制造实力未尝不可，这也是最为快速便捷的方式。对于半导体行业来说，通过收购或并购来提升竞争实力已经屡见不鲜。